modname=ckeditor 100µm de la Cruz dedo de oro electrodo de película delgada circuito IDE condensador de la matriz de humedad de gas chip biosensor 1. Base del material: alúmina de cerámica, forma, tamaño: 10 mm*10 mm.
2. Ancho de línea: 100µm, interlineado: 100µm, cruzar los dedos: 12 pares (24 dedos).
3. La capa de Metal de la estructura: Ti/Cu/Ni/Au,
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